Teicneolaíocht Próiseála As Ardán Eibhear agus Táirgí Comhpháirte
Tá próiseáil bearna ardán cruinneas eibhir agus táirgí comhpháirteanna simplí agus éasca le cruinneas ard a fháil. Tá sé éasca cruinneas ard agus garbhús dromchla a fháil trí mheilt agus snasta, murab ionann agus páirteanna miotail a dteastaíonn próisis casta greanála, brionnaithe nó cóireála teasa, agus páirteanna ceirmeacha óna dteastaíonn brú, foirmiú, shintéiriú agus próisis eile.
Dá bhrí sin, tá an trealamh próiseála simplí, tá an timthriall próiseála gearr, tá an toradh ard agus tá an costas próiseála íseal. Ag 1200mm × Ag tabhairt an ardán eibhir 800mm mar shampla, ní féidir an cruinneas próiseála a bhaint amach i leath mhí amháin ón bán go dtí an táirge críochnaithe, agus is féidir leis an maoile 2.5 μ m a bhaint amach. Tógann sé bliain nó dhó ar a laghad le haghaidh ábhair eile den mhéid céanna chun cruinneas den sórt sin a bhaint amach.
Déantar an bán d'ardán cruinneas eibhir agus táirgí comhpháirte a ghearradh den chéad uair sa mhéid riachtanach le lann chonaic ciorclach diamanta. De ghnáth is gá an t-eitleán próiseála a mheilt agus a snasú trí roth meilt i roinnt próisis. Ní mór cruinneas níos airde a fháil trí mheilt láimhe le huirlis mheilt iarann teilgthe liath agus scríobach chomhdhúile sileacain. Nuair is gá sliotán, roghnófar an ceann muilleoireachta comhfhreagrach, agus úsáidfear an giotán corda Diamond le haghaidh druileála.
Tá dhá mhodh braite ann:
1. Is é ceann amháin le cruinneas de 0.5 μ M leibhéal leictreonach, is féidir a bhrath straightness trí mhodh díláithrithe agus Maoile de réir an modh déantúsaíochta. Is féidir na torthaí tomhaiste a thiontú trí algartam chun na luachanna sonracha a fháil maidir le straightness agus Maoile; Is sainairíonna é cruinneas íseal, ach sonraí tomhais iontaofa agus gan aon sruth pointe '0'. Tá sé oiriúnach go háirithe le haghaidh tomhais agus braite ar líne.
2. Is féidir modh eile chun straightness a thomhas a chur ar aghaidh le cruinneas de 0.1 μ Déantar an micriméadair toilleas M a thomhas trí mhodh díláithrithe, agus is é luach tásc a mhéadair an luach earráide straightness; Sa tomhas seo, tá an sruth pointe '0' den mhicriméadar ionduchtaithe féin tromchúiseach, agus ní féidir muinín a dhéanamh ar a luach ach amháin tar éis 24 uair an chloig de chobhsaíocht. Dá bhrí sin, méadaíonn an t-am nasctha idir próiseáil agus tomhas. Ní mór modhanna braite beachtas ardleibhéil a bheith ag próiseáil cruinneas níos airde. Faoi láthair, is minic a úsáidtear calabróir dinimiciúil HP5528A nó HP5529A. Is é an cruinneas taispeána ná 1nm, ar féidir leis maoile, ingearachacht, straightness, creathadh bonn ama, tomhas díláithrithe uilleach, tomhas trasnánach, etc.
Tá cruinneas braite an chalabróra dinimiciúil go háirithe ard, ach mar gheall ar a chóras optúil casta agus nósanna imeachta casta dífhabhtaithe, go háirithe tá déine solais agus beam tuairisceáin an fhearais optúla ráthaithe a bheith níos mó ná 80 faoin gcéad, ar shlí eile beidh an beam. blocáilte, atá deacair don dífhabhtóir, tá an t-am dífhabhtaithe fada, agus níl an modh dífhabhtaithe éasca le máistir. Ag an am céanna, éilíonn sé timpeallacht tomhais ard.
